1. Start
2.  >
3. Produkter
4.  >
5. Halvledarskyddsfilm

Halvledarskyddsfilm

Tillverkning av halvledaranordningar börjar med avsättning av extremt tunna filmer av material på kiselskivor. Dessa filmer deponeras ett atomlager i taget med hjälp av en process som kallas ångavsättning. Noggranna mätningar av dessa tunna filmer och de förhållanden som används för att skapa dem blir allt viktigare när halvledarenheter som de som finns i datorchips krymper. DeepMaterial samarbetade med kemikalieleverantörer, tillverkare av deponeringsprocessverktyg och andra inom industrin för att utveckla en avancerad övervakning av tunnfilmsavsättning och dataanalys som ger en mycket förbättrad bild av systemen och kemikalierna som bildar dessa ultratunna filmer.

DeepMaterial förser denna industri med viktiga mät- och dataverktyg som hjälper till att identifiera optimala tillverkningsförhållanden. Ångavsättning tunnfilmstillväxt beror på kontrollerad leverans av kemiska prekursorer till kiselskivans yta.

Tillverkare av halvledarutrustning använder DeepMaterial mätmetoder och dataanalys för att förbättra sina system för optimal ångavsättningsfilmtillväxt. Till exempel utvecklade DeepMaterial ett optiskt system som övervakar filmtillväxt i realtid, med betydligt högre känslighet jämfört med traditionella metoder. Med bättre övervakningssystem kan halvledartillverkare med större självförtroende utforska användningen av nya kemiska prekursorer och hur lager av olika filmer reagerar med varandra. Resultatet är bättre "recept" för filmer med idealiska egenskaper.