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Película Protetora Semicondutora

A fabricação de dispositivos semicondutores começa com a deposição de filmes extremamente finos de material em pastilhas de silício. Esses filmes são depositados uma camada atômica de cada vez usando um processo chamado de deposição de vapor. As medições precisas desses filmes finos e as condições usadas para criá-los estão se tornando cada vez mais críticas à medida que dispositivos semicondutores, como os encontrados em chips de computador, encolhem. A DeepMaterial fez parceria com fornecedores de produtos químicos, fabricantes de ferramentas de processo de deposição e outros da indústria para desenvolver um esquema avançado de monitoramento de deposição de filmes finos e análise de dados que fornece uma visão muito melhorada dos sistemas e produtos químicos que formam esses filmes ultrafinos.

A DeepMaterial fornece a esse setor ferramentas essenciais de medição e dados que ajudam a identificar as condições ideais de fabricação. O crescimento do filme fino de deposição de vapor depende da entrega controlada de precursores químicos à superfície do wafer de silício.

Os fabricantes de equipamentos semicondutores usam métodos de medição DeepMaterial e análise de dados para melhorar seus sistemas para o crescimento ideal do filme de deposição de vapor. Por exemplo, a DeepMaterial desenvolveu um sistema óptico que monitora o crescimento do filme em tempo real, com sensibilidade significativamente maior em comparação com as abordagens tradicionais. Com melhores sistemas de monitoramento, os fabricantes de semicondutores podem explorar com mais confiança o uso de novos precursores químicos e como as camadas de diferentes filmes reagem entre si. O resultado são “receitas” melhores para filmes com as propriedades ideais.