1. Hjem
2.  >
3. Produkter
4.  >
5. Halvleder beskyttelsesfilm

Halvleder beskyttelsesfilm

Fremstilling av halvlederenheter begynner med avsetning av ekstremt tynne filmer av materiale på silisiumskiver. Disse filmene avsettes ett atomlag om gangen ved hjelp av en prosess som kalles dampavsetning. Nøyaktige målinger av disse tynne filmene og forholdene som brukes for å lage dem, blir stadig mer kritiske ettersom halvlederenheter som de som finnes i databrikker krymper. DeepMaterial samarbeidet med kjemikalieleverandører, produsenter av avsetningsprosessverktøy og andre i industrien for å utvikle et avansert tynnfilmavsetningsovervåkings- og dataanalyseskjema som gir en mye forbedret oversikt over systemene og kjemikaliene som danner disse ultratynne filmene.

DeepMaterial gir denne industrien viktige måle- og dataverktøy som hjelper til med å identifisere optimale produksjonsforhold. Vapor deposition tynn film vekst avhenger av kontrollert levering av kjemiske forløpere til silisium wafer overflaten.

Produsenter av halvlederutstyr bruker DeepMaterial-målemetoder og dataanalyse for å forbedre systemene sine for optimal vekst av dampavsetningsfilm. For eksempel utviklet DeepMaterial et optisk system som overvåker filmvekst i sanntid, med betydelig høyere følsomhet sammenlignet med tradisjonelle tilnærminger. Med bedre overvåkingssystemer kan halvlederprodusenter mer selvsikkert utforske bruken av nye kjemiske forløpere og hvordan lag av forskjellige filmer reagerer med hverandre. Resultatet er bedre "oppskrifter" for filmer med ideelle egenskaper.