1. home
2.  >
3. Producten
4.  >
5. Halfgeleider beschermende film

Halfgeleider beschermende film

De fabricage van halfgeleiderapparaten begint met de afzetting van extreem dunne materiaalfilms op siliciumwafels. Deze films worden één atomaire laag per keer afgezet met behulp van een proces dat dampafzetting wordt genoemd. Nauwkeurige metingen van deze dunne films en de omstandigheden die worden gebruikt om ze te maken, worden steeds belangrijker naarmate halfgeleiderapparaten zoals die in computerchips krimpen. DeepMaterial werkte samen met leveranciers van chemicaliën, fabrikanten van depositieprocestools en anderen in de industrie om een ​​geavanceerd monitoring- en gegevensanalyseschema voor dunne-filmdepositie te ontwikkelen dat een sterk verbeterd beeld geeft van de systemen en chemicaliën die deze ultradunne films vormen.

DeepMaterial biedt deze industrie essentiële meet- en gegevenstools die helpen bij het identificeren van optimale productieomstandigheden. De groei van dunne film door dampafzetting hangt af van de gecontroleerde afgifte van chemische voorlopers aan het siliciumwafeloppervlak.

Fabrikanten van halfgeleiderapparatuur gebruiken DeepMaterial-meetmethoden en gegevensanalyse om hun systemen te verbeteren voor een optimale groei van de dampafzetting. Zo ontwikkelde DeepMaterial een optisch systeem dat de filmgroei in realtime bewaakt, met een aanzienlijk hogere gevoeligheid in vergelijking met traditionele benaderingen. Met betere monitoringsystemen kunnen halfgeleiderfabrikanten met meer vertrouwen het gebruik van nieuwe chemische voorlopers en hoe lagen van verschillende films met elkaar reageren, onderzoeken. Het resultaat is betere "recepten" voor films met de ideale eigenschappen.