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반도체 보호 필름

반도체 장치 제조는 실리콘 웨이퍼에 매우 얇은 재료 필름을 증착하는 것으로 시작됩니다. 이 필름은 기상 증착이라고 하는 프로세스를 사용하여 한 번에 하나의 원자 층으로 증착됩니다. 컴퓨터 칩에서 볼 수 있는 것과 같은 반도체 장치가 축소됨에 따라 이러한 박막을 만드는 데 사용되는 조건과 이러한 박막의 정확한 측정이 점점 더 중요해지고 있습니다. DeepMaterial은 화학 공급업체, 증착 공정 도구 제조업체 및 업계의 다른 업체와 협력하여 이러한 초박막을 형성하는 시스템 및 화학 물질에 대한 훨씬 향상된 보기를 제공하는 고급 박막 증착 모니터링 및 데이터 분석 체계를 개발했습니다.

DeepMaterial은 이 산업에 최적의 제조 조건을 식별하는 데 도움이 되는 필수 측정 및 데이터 도구를 제공합니다. 증착 박막 성장은 실리콘 웨이퍼 표면에 화학적 전구체의 제어된 전달에 달려 있습니다.

반도체 장비 제조업체는 최적의 증착 필름 성장을 위해 시스템을 개선하기 위해 DeepMaterial 측정 방법과 데이터 분석을 사용합니다. 예를 들어, DeepMaterial은 필름 성장을 실시간으로 모니터링하는 광학 시스템을 개발했으며 기존 접근 방식에 비해 훨씬 더 높은 감도를 제공합니다. 더 나은 모니터링 시스템을 통해 반도체 제조업체는 새로운 화학 전구체의 사용과 서로 다른 필름의 층이 서로 반응하는 방식을 보다 자신 있게 탐색할 수 있습니다. 그 결과 이상적인 특성을 가진 필름을 위한 더 나은 "레시피"가 생성됩니다.