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Film de protection semi-conducteur

La fabrication de dispositifs semi-conducteurs commence par le dépôt de films extrêmement fins de matériau sur des tranches de silicium. Ces films sont déposés une couche atomique à la fois en utilisant un processus appelé dépôt en phase vapeur. Des mesures précises de ces couches minces et des conditions utilisées pour les créer deviennent de plus en plus critiques à mesure que les dispositifs à semi-conducteurs tels que ceux que l'on trouve dans les puces informatiques rétrécissent. DeepMaterial s'est associé à des fournisseurs de produits chimiques, à des fabricants d'outils de processus de dépôt et à d'autres acteurs de l'industrie pour développer un système avancé de surveillance du dépôt de couches minces et d'analyse des données qui offre une vue bien améliorée des systèmes et des produits chimiques qui forment ces films ultrafins.

DeepMaterial fournit à cette industrie des outils de mesure et de données essentiels qui aident à identifier les conditions de fabrication optimales. La croissance des couches minces par dépôt en phase vapeur dépend de la distribution contrôlée de précurseurs chimiques à la surface de la tranche de silicium.

Les fabricants d'équipements semi-conducteurs utilisent les méthodes de mesure DeepMaterial et l'analyse des données pour améliorer leurs systèmes afin d'optimiser la croissance du film de dépôt en phase vapeur. Par exemple, DeepMaterial a développé un système optique qui surveille la croissance du film en temps réel, avec une sensibilité nettement plus élevée par rapport aux approches traditionnelles. Avec de meilleurs systèmes de surveillance, les fabricants de semi-conducteurs peuvent explorer avec plus de confiance l'utilisation de nouveaux précurseurs chimiques et la façon dont les couches de différents films réagissent les unes avec les autres. Le résultat est de meilleures « recettes » pour des films aux propriétés idéales.