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Película protectora de semiconductores

La fabricación de dispositivos semiconductores comienza con la deposición de películas extremadamente delgadas de material sobre obleas de silicio. Estas películas se depositan una capa atómica a la vez usando un proceso llamado deposición de vapor. Las mediciones precisas de estas películas delgadas y las condiciones utilizadas para crearlas se vuelven cada vez más críticas a medida que los dispositivos semiconductores, como los que se encuentran en los chips de computadora, se encogen. DeepMaterial se asoció con proveedores de productos químicos, fabricantes de herramientas de proceso de deposición y otros en la industria para desarrollar un esquema avanzado de monitoreo y análisis de datos de deposición de película delgada que proporciona una visión mucho mejor de los sistemas y productos químicos que forman estas películas ultrafinas.

DeepMaterial proporciona a esta industria herramientas esenciales de medición y datos que ayudan a identificar las condiciones óptimas de fabricación. El crecimiento de la película delgada de deposición de vapor depende de la entrega controlada de precursores químicos a la superficie de la oblea de silicio.

Los fabricantes de equipos de semiconductores utilizan métodos de medición y análisis de datos de DeepMaterial para mejorar sus sistemas y lograr un crecimiento óptimo de la película de deposición de vapor. Por ejemplo, DeepMaterial desarrolló un sistema óptico que monitorea el crecimiento de la película en tiempo real, con una sensibilidad significativamente mayor en comparación con los enfoques tradicionales. Con mejores sistemas de monitoreo, los fabricantes de semiconductores pueden explorar con mayor confianza el uso de nuevos precursores químicos y cómo las capas de diferentes películas reaccionan entre sí. El resultado son mejores “recetas” para películas con las propiedades ideales.