1. Αρχική
2.  >
3. Προϊόντα
4.  >
5. Προστατευτική μεμβράνη ημιαγωγών

Προστατευτική μεμβράνη ημιαγωγών

Η κατασκευή της συσκευής ημιαγωγών ξεκινά με την εναπόθεση εξαιρετικά λεπτών μεμβρανών υλικού σε γκοφρέτες πυριτίου. Αυτά τα φιλμ εναποτίθενται ένα ατομικό στρώμα τη φορά χρησιμοποιώντας μια διαδικασία που ονομάζεται εναπόθεση ατμού. Οι ακριβείς μετρήσεις αυτών των λεπτών μεμβρανών και οι συνθήκες που χρησιμοποιούνται για τη δημιουργία τους γίνονται όλο και πιο κρίσιμες καθώς συρρικνώνονται οι συσκευές ημιαγωγών όπως αυτές που βρίσκονται στα τσιπ υπολογιστών. Η DeepMaterial συνεργάστηκε με προμηθευτές χημικών, κατασκευαστές εργαλείων διεργασιών εναπόθεσης και άλλους στη βιομηχανία για να αναπτύξει ένα προηγμένο σύστημα παρακολούθησης και ανάλυσης δεδομένων απόθεσης λεπτής μεμβράνης που παρέχει μια πολύ βελτιωμένη εικόνα των συστημάτων και των χημικών ουσιών που σχηματίζουν αυτά τα εξαιρετικά λεπτά φιλμ.

Το DeepMaterial παρέχει σε αυτόν τον κλάδο βασικά εργαλεία μέτρησης και δεδομένων που βοηθούν στον εντοπισμό των βέλτιστων συνθηκών παραγωγής. Η ανάπτυξη λεπτής μεμβράνης απόθεσης ατμού εξαρτάται από την ελεγχόμενη παροχή χημικών πρόδρομων ουσιών στην επιφάνεια του πλακιδίου πυριτίου.

Οι κατασκευαστές εξοπλισμού ημιαγωγών χρησιμοποιούν μεθόδους μέτρησης DeepMaterial και ανάλυση δεδομένων για να βελτιώσουν τα συστήματά τους για βέλτιστη ανάπτυξη φιλμ εναπόθεσης ατμών. Για παράδειγμα, η DeepMaterial ανέπτυξε ένα οπτικό σύστημα που παρακολουθεί την ανάπτυξη του φιλμ σε πραγματικό χρόνο, με σημαντικά υψηλότερη ευαισθησία σε σύγκριση με τις παραδοσιακές προσεγγίσεις. Με καλύτερα συστήματα παρακολούθησης, οι κατασκευαστές ημιαγωγών μπορούν να εξερευνήσουν με μεγαλύτερη σιγουριά τη χρήση νέων χημικών πρόδρομων ουσιών και τον τρόπο με τον οποίο αντιδρούν στρώματα διαφορετικών μεμβρανών μεταξύ τους. Το αποτέλεσμα είναι καλύτερες «συνταγές» για ταινίες με τις ιδανικές ιδιότητες.